CN119747325A 双面抛光机供液管路系统清洗方法 (杭州中欣晶圆半导体股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-27 发布于重庆
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CN119747325A 双面抛光机供液管路系统清洗方法 (杭州中欣晶圆半导体股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119747325A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202411860179.8

(22)申请日2024.12.17

(71)申请人杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

地址311201浙江省杭州市钱塘新区东垦

路888号

(72)发明人姚胜平

(74)专利代理机构杭州融方专利代理事务所

(普通合伙)33266

专利代理师沈相权

(51)Int.Cl.

B08B9/032(2006.01)

C11D7/08(2006.01)

权利要求书1页说明书2页

(54)发明名称

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