CN119816397A 基板处理装置和基板处理方法 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119816397A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202380063279.5

(22)申请日2023.08.31

(30)优先权数据

2022-1476782022.09.16JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.03.03

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0317832023.08.31

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/057951JA2024.03.21

(71)申请人东京毅力科创株式会社地址日本

(72)发明人儿玉宗久若松孝彬

(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277

专利代理师刘新宇张会华

(51)Int.Cl.

B24B55/06(2006.01)

B23Q11/00(2006.01)

B24B7/04(2006.01)

H01L21/304(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图4页

(54)发明名称

基板处理装置和基板处理方法

(57)摘要

CN119816397A基板处理装置具备：基板保持部，其保持基板；驱动机构，其驱动对保持于所述基板保持部的所述基板进行加工的工具；壳体，其容纳所述基板保持部和所述工具；