高温真空微动摩擦磨损试验机中的压电激振与多维力传感器集成设计.docxVIP

PAGE2

高温真空微动摩擦磨损试验机中的压电激振与多维力传感器集成设计

摘要

高温真空环境下的微动摩擦磨损测试是航空航天、核能装备等领域关键材料可靠性评估的核心手段。现有试验设备普遍存在激振精度不足、多维力测量耦合干扰严重、高温真空兼容性差等痛点。本课题针对上述问题，设计一种集成纵弯复合压电振子与柔性解耦测力单元的高温真空微动摩擦磨损试验机。

论文遵循“需求分析→总体设计→详细设计→实现→测试”的工程递进思路展开。首先分析高温真空微动磨损测试的功能与非功能需求，明确激振频率、力值测量精度、温度范围等关键指标。随后进行系统总体架构设计，划分激振模块、测力模块、真空腔体模块与测控模块，并详细阐述各模块间的交互关系。在详细设计阶段，重点完成纵弯复合压电振子的结构参数优化与柔性解耦测力单元的弹性体设计，给出关键算法与流程。实现阶段展示核心部件的加工装配与调试过程，测试阶段通过对比实验验证系统性能。

本设计的核心创新在于：提出纵弯复合振动模态实现微米级振幅与宽频激振，采用柔性铰链解耦结构实现三维力/力矩的独立测量，并通过一体化集成设计满足高温真空环境的苛刻要求。

第一章绪论

1.1研究背景

微动摩擦磨损是指接触表面在微小振幅（通常为微米至百微米量级）往复相对运动下产生的损伤现象。这种磨损形式广泛存在于航空发动机榫头连接、核反应堆燃料组件、人工关节假体等关键工程结构中。

据统计，航