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氧气,氮气管道施工方案.docx

氧气,氮气管道施工方案.docx

    氧气,氮气管道施工方案

    第一章项目概述与边界条件

    1.1工程定位

    本方案服务于某12英寸晶圆厂扩建项目，新建一条8″-Sch10S不锈钢氧气主管（O?，99.999%）与一条6″-Sch10S不锈钢氮气主管（N?，99.9999%），自厂区大宗气站分气缸出口至各工艺模组VMB阀箱，全长约1.8km，埋地0.8m、架空3.5m混合敷设。项目目标：一次试压合格率100%，氧气管线投运后颗粒≤0.1μm、露点≤-70℃，氮气管线氧含量≤1ppb。

    1.2法规与标准矩阵

    类别

    标准号

    适用条款

    控制指标

    氧气管道

    GB50030-2013

    第4.2.3

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