CN119937255A 光学系统和方法 （苏斯微技术解决方案有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119937255A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202510223539.1

(22)申请日2018.06.18

(30)优先权数据

62/522,0622017.06.19US

(62)分案原申请数据

201880052979.32018.06.18

(71)申请人苏斯微技术解决方案有限公司地址德国施特尔嫩费尔斯

(72)发明人Y·袁J·毕约克曼P·费拉里J·汉森

(74)专利代理机构北京世峰知识产权代理有限

公司11713

专利代理师卓霖许向彤

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

G02B15/177(2006.01)

G02B17/00(2006.01)

G02B17/08(2006.01)

G02B7/09(2021.01)

G02B7/10(2021.01)

权利要求书4页说明书23页附图14页

(54)发明名称

光学系统和方法

(57)摘要

CN119937255A本发明公开用于光学系统中的放大率补偿及/或光束导向的技术。一种光学系统可包含透镜系统，其用于接收与对象相关联的第一辐射且将与该对象的图像相关联的第二辐射导引向图像平面。该透镜系统可包含一组透镜及