截面分析仪作业指导书.docx

截面分析仪作业指导书

1范围

1.1适用对象

本指导书适用于复合式截面分析仪（集成光学成像、电子束成像模块）对金属材料、印制电路板（PCB）、半导体封装件、电子元器件等样品的截面形貌观察、镀层/覆盖层厚度测量、显微组织结构分析、界面结合状态检测及失效分析等作业。

1.2适用场景

涵盖原材料入厂检验、制程质量控制、成品性能验证、失效原因排查等全流程检测场景，满足实验室及生产现场的精准检测需求。

2规范性引用文件

下列文件对于本指导书的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本指导书；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本指导书。

GB/T13