CN120089221A 气相沉积硅酸铝纤维的工艺优化方法及装置 （沈阳君茂保温材料有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120089221A

(43)申请公布日2025.06.03

(21)申请号202510565613.8

(22)申请日2025.04.30

(71)申请人沈阳君茂保温材料有限公司

地址110000辽宁省沈阳市新民市大民屯

镇二村

(72)发明人李君刘巍

(74)专利代理机构沈阳弘樽知识产权代理事务所(特殊普通合伙)21289

专利代理师薛俊波

(51)Int.Cl.

G16C20/10(2019.01)

C23C16/52(2006.01)

C23C16/30(2006.01)

C23C16/02(2006.01)

C30B25/18(2006.01)

C30B25/16(2006.01)

C30B29/34(2006.01)

C30B29/62(2006.01)

G06F30/28(2020.01)

G06F113/08(2020.01)

G06F119/14(2020.01)

G06F111/10(2020.01)

权利要求书4页说明书12页附图2页

(54)发明名称

气相沉积硅酸铝纤维的工艺优化方法及装

置

(57)摘要

CN120089221A本申请涉及气相沉积技术领域，公开了一种气相沉积硅酸铝纤维的工艺优化方