《射频MEMS器件测试技术的国内外发展现状的文献综述》2500字.docx

射频MEMS器件测试技术的国内外发展现状的文献综述

近年来，射频MEMS技术发展非常迅速，国际上涌现出了RadantMEMS、Avago、MEMTronics、Raytheon和Rockwell等大批射频MEMS器件及应用系统制造商REF_Re\r\h[11]。与此同时，射频MEMS器件的测试技术也得到了飞速发展。目前，著名射频探针生产厂商CascadeMicroteh公司推出Summit12000型探针台，并结合是德科技公司PNA-X系列矢量网络分析仪和B2900系列精密电流－电压分析仪等电气测量设备，该设备成为射频MEMS器件圆晶级在片测试的主流测试系