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银微纳结构的飞秒激光增减材复合加工研究.pdf

银微纳结构的飞秒激光增减材复合加工研究.pdf

    摘要

    摘要

    金属微纳结构在微电子领域、超材料、MEMS、生物传感器等方面具有广

    泛应用。但是，目前种类繁多的金属微纳结构仍然主要是通过光刻结合金属蒸镀

    （或刻蚀）实现的，但该技术存在成本高昂、程序复杂且效率低的缺点。因此，

    发展简单而高效的金属微纳结构加工技术成为了当前领域中的研究重点。飞秒激

    光多光子还原直写技术是一种过程简洁、分辨率高的金属微纳结构直接制造技

    术，并且可实现复杂三维金属微纳结构的加工。本人所在的研究团队

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