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SnO2薄膜的性能概述

SnOy

Sn

O

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图1.1SnO2晶体结构示意简图

Fig.1.1SchematicdiagramofthecrystalstructureofSnO2

SnO2薄膜具有非常好的电学性能、光学性能、磁学性能和气体敏感性能，同时SnO2薄膜在各种衬底上具有非常强的附着力，并且薄膜的成分与结构十分稳定。相比于其他薄膜，SnO2薄膜制备方法较多，而且绿色环保，符合可持续发展理念[10,11]。

1.2SnO2的电子结构

在纯净的SnO2晶体中，Sn原子和O原子的原子外层电子构型分别为5s25p2和2s22p4[12]。SnO2的电学、光学等物理性能强烈依赖于SnO2的电子结构，人们已经对SnO2和掺杂（F和Ⅲ族元素）SnO2的电子结构进行了深入研究[13,14]。

杜娟和季振国两人研究了Ⅲ族元素掺杂对SnO2电子结构及电学性能的影响。他们的研究结果表明：当Ⅲ族元素以替代位存在时，SnO2的费米能级向低能态方向有明显移动，导致价带上部不能完全填满而形成空穴，这说明Ⅲ族元素在SnO2中均充当受主作用[13]。

徐剑、黄水平和王占山发现随着F掺杂量的增大