靶材探伤作业指导书.docx

靶材探伤作业指导书

1范围

本作业指导书规定了平面矩形溅射靶材、旋转圆柱溅射靶材的无损探伤操作流程、缺陷判定、设备维护、安全管理要求，适用于厚度5mm~150mm、矩形靶最大边长1800mm、旋转靶最大直径Φ650mm、最大长度3500mm的各类溅射靶材探伤，涵盖材质包括：高纯铝、高纯铜、高纯钛、钨、钼、钽等金属靶材，以及ITO、AZO、IGZO等陶瓷复合靶材。本指导书以脉冲反射式超声波探伤为核心内部缺陷检测方法，配合着色渗透探伤检测表面开口缺陷，结果判定符合半导体显示、光伏领域溅射靶材的行业质量要求。

2规范性引用文件

本作业指导书内容依据以下标准编制，未注明日期的引用文件以最新有效版本