《电子级水标准》.docx

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电子级水

1范围

本文件规定了电子或半导体工业制造等电子信息产业用电子级水的分类、技术要求、试验方法和检验规则。

本文件适用于半导体器件、电子元件及相关产品制造过程中所有湿法工艺所用高纯清洗用水的质量管控。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T11446.3电子级水测试方法通则

GB/T11446.4电子级水电阻率的测试方法

GB/T11446.5电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试