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化学机械平坦化材料对蓝宝石抛光速率与粗糙度的影响.docx

化学机械平坦化材料对蓝宝石抛光速率与粗糙度的影响.docx

    022422016年第2期(47)卷

    文章编号:1001G9731(2016)02G02242G05

    化学机械平坦化材料对蓝宝石抛光速率与粗糙度的影响?

    贾少华,刘玉岭,王辰伟,闫辰奇

    (河北工业大学微电子技术与材料研究所,天津300130)

    摘要:采用自主研制的新型碱性蓝宝石抛光液,在蓝宝石化学机械平坦化过程中加入FA/O型非离子表

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