CN119480673A 一种晶圆温度测量系统的抗扰检测方法 (盛吉盛半导体科技(北京)有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-17 发布于重庆
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CN119480673A 一种晶圆温度测量系统的抗扰检测方法 (盛吉盛半导体科技(北京)有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119480673A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202411684777.4

(22)申请日2024.11.22

(71)申请人盛吉盛半导体科技(北京)有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区荣华南路15号院2号楼7层703

(72)发明人梁倩赵丽新李志达韩涛

芦晓明崔江华金洲卢志辉

李宪想张显越程天敏

(74)专利代理机构北京申翔知识产权代理有限

公司11214

专利代理师赵晓炜

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

G05D

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