ISOTS 1：2025 表面化学分析 - 辉光放电质谱 - 操作程序标准立项发展报告.docx

表面化学分析辉光放电质谱操作程序标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:SurfaceChemicalAnalysis—GlowDischargeMassSpectrometry—OperatingProcedures

摘要

辉光放电质谱（GlowDischargeMassSpectrometry,GDMS）作为材料表面与深度剖析分析领域的核心表征技术，凭借其高灵敏度、宽动态范围和优异的深度分辨能力，在金属及半导体材料、薄膜涂层、核工业材料及新能源材料等高端制造领域发挥着不可替代的作用。然而，长期以来，该技术在国际范围内的操作规程缺乏统一规范，导致不同实验室间测试数据可比性不足，严重制约了技术成果的互认与产业应用的深化。在此背景下，国际标准化组织（ISO）发布了ISO/TS15338:2025《表面化学分析—辉光放电质谱—操作程序》，为GDMS技术的规范化应用提供了权威技术规范。本报告系统梳理了该标准的立项背景、编制历程、核心技术内容、主要参与单位及未来发展趋势，旨在为相关领域技术人员、标准化工作者及产业管理人员提供全面、深入的参考依据。报告指出，该标准的发布填补了GDMS国际操作规范领域的空白，对提升材料表面分析质量、促进跨区域技术协作和推动高端材料产业发展具有深远意义。

关键词：辉光放电