ISO 23131-2：2026 椭偏测量 第2部分体材料模型标准立项发展报告.docx

椭偏测量第2部分：体材料模型标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Ellipsometry—Part2:BulkMaterialModel

摘要

椭偏测量技术（Ellipsometry）作为一种高精度、非破坏性的光学测量手段，在半导体工业、薄膜材料科学、生物医学检测及新能源材料研发等领域具有不可或缺的核心地位。随着纳米尺度功能材料和多层膜结构器件的迅猛发展，业界对椭偏数据解析的准确性与跨平台可比性提出了前所未有的严格要求。然而，长期以来椭偏测量中体材料（BulkMaterial）光学常数模型的构建与数据报告缺乏统一的国际规范，导致不同实验室、不同仪器间的测量结果存在显著偏差。在此背景下，国际标准化组织（ISO）于2026年1月30日正式发布了ISO23131-2:2026《椭偏测量第2部分：体材料模型》标准。该标准作为ISO23131系列标准的重要组成部分，系统规定了体材料椭偏测量中光学常数模型的选择原则、构建方法、参数拟合策略及数据报告格式。本报告全面梳理了该标准的立项背景、技术核心内容及其行业应用前景，并重点介绍了主要起草单位在标准制定中的技术贡献。报告认为，该标准的实施将极大促进椭偏测量结果的国际互认，推动高端光学计量体系的规范化发展，并为下一代先进制造工艺中的在线检测提供坚实的标准化支撑。

关键词