半导体器件微机电器件第50部分:MEMS电容传声器标准立项发展报告
StandardizationDevelopmentReport:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part50:MEMScapacitivemicrophones
摘要
随着消费电子、汽车电子、物联网及医疗健康等领域的飞速发展,MEMS(微机电系统)电容传声器凭借其小型化、高性能、低成本及高可靠性等优势,已成为声学传感领域不可或缺的核心器件。然而,长期以来MEMS电容传声器在国际标准层面缺乏统一的术语定义、技术要求和试验方法,导
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