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实验室防静电监理实施细则

一、防静电监理工作目标及依据

（一）工作目标

为保障实验室电子元器件、精密测试设备、静电敏感样品的安全稳定运行，防范静电放电造成的器件击穿、数据失真、样品失效等风险，通过全流程监理管控，确保实验室防静电系统的各项指标符合国家规范及行业特殊要求：静电泄放通道顺畅无断点，工作台面、地面、人员、物流的静电电位控制在±100V以内，ESD事件发生率控制在0.1‰以下，防静电设施年有效运行率达到100%，静电防护体系满足5年以上稳定使用要求。

（二）编制依据

1.国家标准：《电子工业防静电设计规范》GB50611-2010、《防静电工程施工与质量验收规范》GB51077-2015、《防静电工作服》GB12014-2019、《防静电鞋技术要求》GB4385-1995；

2.行业规范：《微电子制造静电防护技术要求》SJ/T10694-2019、《实验室静电防护通用规范》GB/T39588-2020；

3.项目文件：实验室防静电系统设计图纸、工程量清单、技术交底记录、业主方特殊防护需求说明；

4.其他：已审批的监理规划、施工单位提交的施工组织设计及专项施工方案。

二、施工准备阶段监理控制要点

（一）施工方案审核

1.要求施工单位在进场前7个工作日提交《防静电工程专项施工方案》，监理工程师重点审核以下内容：施工工序的逻辑合理性（必须遵循“接地系统施工