CN119852839A 激光器芯片的制备方法和激光投影设备 （青岛海信激光显示股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119852839A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202311341532.7

(22)申请日2023.10.17

(71)申请人青岛海信激光显示股份有限公司

地址266510山东省青岛市黄岛区前湾港

路218号

(72)发明人王芝浩田有良

(74)专利代理机构北京国之大铭知识产权代理

有限公司11565

专利代理师张平

(51)Int.Cl.

H01S5/024(2006.01)

H01S5/028(2006.01)

G03B21/20(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图6页

(54)发明名称

激光器芯片的制备方法和激光投影设备

(57)摘要

CN119852839A本申请实施例提供了一种激光器芯片的制备方法和激光投影设备，涉及激光投影技术领域。该制备方法包括：提供半导体衬底；在所述半导体衬底的一侧形成半导体外延结构层，所述半导体外延结构层包括电流注入区和非注入区；在所述半导体外延结构层的远离所述半导体衬底的一侧形成第一电极层；在所述第一电极层远离所述半导体衬底的一侧形成与所述第一电极层接触的铜层以及空气层，所述铜层位于所述电流注入区，所述空气层位于所述非注入区；在所述半导体衬底的远离所述半导体外延结构层的一侧形成