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激光聚变靶丸轮廓测量系统概述

目录

TOC\o1-3\h\u30268激光聚变靶丸轮廓测量系统概述 1

237801.1激光聚变靶丸轮廓测量原理 1

138921.2激光聚变靶丸轮廓测量系统 2

311191.1.1传感器位姿调整装置 3

69401.1.2高精度测量回转轴系 4

100061.1.3自动偏心调整装置 5

226481.3激光聚变靶丸轮廓测量系统软件 5

1.1激光聚变靶丸轮廓测量原理

激光聚变靶丸轮廓测量原理基于激光差动共焦自身的重要特点——轴向响应曲线的过零点与物镜焦点精确对应[46]，利用轴向逐点扫描测量方式实现靶丸圆周轮廓的高精度回转测量。靶丸表面轮廓测量时，通过激光差动共焦靶丸表面轮廓测量系统对靶丸表面位置定焦，通过高精度气浮回转轴系驱动靶丸稳定旋转，实现靶丸表面轮廓几何参数的测量[47,48]。

靶丸表面轮廓测量原理如图1.1所示，激光器发出的激光，通过导光光纤传导后，经扩束器中的扩束系统进行放大，放大后的光束经过偏振分光镜PBS和1/4波片后，进入物镜聚焦形成探测光束到达靶丸表面并携带靶丸表面轮廓位置信息反射，再次经过测量物镜、1/4波片，经偏振分光镜反射后，透过汇聚镜形成返回聚焦光束，分光镜BS将返回光束一分为二，一路透过汇聚镜焦前离焦量为M的针孔P1，进入光电倍