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光燃料电池产业园光电板废气环评报告

一、项目概况

光燃料电池产业园位于国家级经济技术开发区新能源产业聚集区，总规划用地

面积约800亩，总投资52亿元，分两期建设。一期工程主要建设光电板生产车间、

研发中心、原材料仓库及配套设施，预计年生产高效晶硅光电板10GW；二期将

拓展至薄膜光电板及光燃料电池集成系统生产线，全部达产后可实现年产值超

120亿元，带动就业岗位3000余个。

项目核心生产工艺涵盖晶硅提纯、晶圆切片、电池片制备、组件封装四大环节，

其中废气排放主要集中在晶硅提纯的化学气相沉积工序、电池片制备的PECVD

（等离子体增强化学气相沉积）与丝网印刷工序，以及组件封装的EVA（乙烯-醋

酸乙烯酯）热熔环节。产业园采用封闭循环生产系统，配套建设集中式废气处理站，

设计处理能力为15万立方米/小时，计划实现95%以上的废气资源化回收或达标

排放。

二、废气污染源分析

（一）生产工艺废气排放节点

1.晶硅提纯车间在化学气相沉积（CVD）制备高纯多晶硅过程中，以

三氯氢硅（SiHCl₃）为原料，在高温还原炉内与氢气反应生成硅单质，同时

产生氯化氢（HCl）