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氧化铟镓锌（IGZO）靶材标准研究报告

一、报告概述

氧化铟镓锌（IGZO）靶材是新一代显示产业核心电子材料，主要用于磁控溅射制备非晶态IGZO半导体薄膜，广泛应用于TFT-LCD、OLED、柔性显示、Mini/MicroLED等高端显示领域，具备高迁移率、低漏电、高分辨率、低功耗等优势，是替代传统IGS、LTPS技术的关键材料。

本报告基于YS/T1780-2025《氧化铟镓锌靶材》（2025年4月发布、2025年11月1日正式实施）最新行业标准，结合国内电子材料行业规范、检测技术体系及产业应用现状，系统梳理IGZO靶材的标准体系、技术指标、检测方法、产业适配性、现存问题及优化方向，为企业生产、质量管控、产品检测、行业合规及技术升级提供标准化参考依据。

二、标准体系基本概况

2.1核心标准基础信息

标准编号：YS/T1780-2025

标准名称：氧化铟镓锌靶材

标准级别：有色金属行业推荐性标准

发布部门：工业和信息化部

发布日期：2025年04月10日

实施日期：2025年11月01日

备案编号：100706-2025

分类代码：CCSH62、ICS77.150.99

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

2.2标准适用范围

本标准适用于以氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末为核心原料，采用常压烧结工艺制备的氧化铟镓锌陶瓷溅射靶材。产品主要用于制备新型显示器件沟道