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6英寸晶圆工艺制备带宽超76 GHz石墨烯光电探测器.pdf

6英寸晶圆工艺制备带宽超76 GHz石墨烯光电探测器.pdf

    石墨烯光电探测器的带宽为76GHz在6英寸晶圆工艺线

    上制造｜end▁of▁sentence｜

    丹尼尔·沙尔*，卡罗琳·波尔沙蒂斯，丹尼尔·诺伊迈尔｜end▁of▁sentence｜

    亚琛先进微电子（AMICA），AMO

    GmbH，奥托·布卢门塔尔大街

    25

    号，52064

    德国亚琛

    ｜end▁of▁sentence｜

    *电子邮件：schall@amo.de｜

    end▁of▁sentence｜

    光电探测器(85.60.Gz),光通信系统(42.79.Sz),电信(84.40.Ua),石墨烯(81.05.ue)｜end▁

    of▁s

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