双阱双金属层CMOS晶体管制造工艺流程详解.pdf

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双阱双金属层CMOS工艺流程

这里只介绍双阱双金属

层CMOS晶体造工艺的

+V

pMOS主要工艺流程。

第一步是硅片准备:选

输入

择P型、〈100〉晶向、5~

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