洁净室气体精密过滤器技术手册.pdfVIP

洁净室内通用气体的精密过滤CLEAN

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PTFE（聚）膜，具有高度可靠的过滤性能｜end▁of▁sentence｜

过滤膜采用双层结构，由PTFE膜和PTFE无纺布（专利待批）组成，确保性能稳定。对0.01微米微小颗粒的过滤效率达到100%！！（使用凝粒子计数器测量）｜

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紧凑且使用长采用PTFE膜，周围环绕PTFE｜end▁

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无纺布预过滤器，采用双层配置，与单层膜相比，使用更优越！！｜end▁of▁sentence｜

允许在生产线上快速启动｜end▁of▁sentence｜

T产品中使用的部件确保彻底清洁｜end▁of▁sentence｜

在洁净室内。产品上附着的极少量颗粒有助于生产线快速启动！！｜

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采用强耐腐蚀部件和材料，适用于一般气体使用化学

性质稳定的氟树脂｜end▁of▁sentence｜

膜片、支撑部件和O型圈，而外壳主体采用电解抛光的SUS316，具有优异

的耐腐蚀性和耐热性。｜end▁of▁sentence｜

污染控制制造｜end▁of▁sent