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洁净室测试方法

1静压差的检测

1.1静压差的测定应在所有的门关闭的条件下，由高压向低压，由平面布置上与外界最远的里间房间开始，依次向外测定。

1.2采用的微差压力计，其灵敏度不应低于2.0Pa。

1.3有孔洞相连的不同等级相邻的洁净室，其洞口处应有合理的气流流向。洞口的平均风速大于等于0.2m/s时，可用热球风速仪检测。

1.4对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室，还应测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数，浓度不应超出室内级别的上限。

2空气过滤器泄漏测试

2.1高效过滤器的检漏，应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计数器，D类高效过滤器宜使用激光粒子计数器或凝结核计数器。

2.2采用粒子计数器检漏高效过滤器，其上风侧应引入均匀浓度的大气尘或含其他气溶胶尘的空气。对大于或等于0.5μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×10?pc/m3；或对大于或等于0.1μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×10?pc/m3；若检测D类高效过滤，对大于或等于0.1μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×10?pc/m3。

2.3高效过滤器的检测采用扫描法，即在过滤器下风侧用粒子计数器的等动力采样头，放在距离被检部位表面20mm-30mm处，以5mm/s～20mm/s的速度，对过滤器的表面、边框和封头胶处进行移动扫描检查。

2.4泄漏率的检测应在接近设计风速的