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MEMS耐腐蚀气体芯片品质控制规范.docx

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    MEMS耐腐蚀气体芯片品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 2

    二、术语和定义 2

    三、产品分类与型号 4

    四、质量管理体系要求 6

    五、设计质量控制 9

    六、原材料与零部件控制 12

    七、生产过程控制 15

    八、关键工序控制 19

    九、洁净与环境控制 22

    十、设备与工装管理 25

    十一、检验与试验方法 26

    十二、性能质量要求 29

    十三、耐腐蚀性能评价 32

    十四、可靠性与寿命要求 34

    十五、标识包装与储存 37

    十六、不合格品控制 41

    十七、质量记录与追溯 45

    十八、出厂

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