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碳化硅功率半导体器件的产业化突破

一、引言

电力电子技术是实现电能高效转换与控制的核心支撑，从日常消费电子到工业生产、交通运输、电力传输，几乎所有用电场景都离不开功率半导体器件的电能调控作用。在过去半个多世纪的发展历程中，硅基功率半导体器件支撑了电力电子产业从无到有、从小到大的发展，但随着硅材料物理极限的逐步逼近，传统硅基功率器件在耐压等级、开关速度、耐高温能力等方面的性能，已经难以满足新兴应用场景对高能效、高功率密度、高可靠性的要求。碳化硅作为第三代宽禁带半导体材料的典型代表，凭借更宽的禁带宽度、更高的临界击穿电场、更快的电子饱和漂移速度、更高的热导率等天然材料优势，成为制备下一代高性能功率