CN119351994A 基于mpcvd腔体的微波耦合方法及mpcvd腔体 （广东省新兴激光等离子体技术研究院）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119351994A

(43)申请公布日2025.01.24

(21)申请号202411460311.6

(22)申请日2024.10.18

(71)申请人广东省新兴激光等离子体技术研究

院

地址510000广东省广州市白云区龙归街

科泰二路13-19号白云高新区·产业

创新园17号第5栋整栋

申请人北京大学

(72)发明人朱昆张蔡婕

(74)专利代理机构广州市律帆知识产权代理事

务所(普通合伙)44614

专利代理师余永文

(51)Int.Cl.

C23C16/511(2006.01)

C23C16/52(2006.0