CN119351993A 加热装置、cvd设备及方法 (北京石墨烯研究院).pdfVIP

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  • 2026-11-11 发布于重庆
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CN119351993A 加热装置、cvd设备及方法 (北京石墨烯研究院).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119351993A

(43)申请公布日2025.01.24

(21)申请号202411463808.3C23C16/26(2006.01)

(22)申请日2024.10.18

(71)申请人北京石墨烯研究院

地址100095北京市海淀区苏家坨镇翠湖

南路13号院中关村翠湖科技园2号楼

申请人苏州大学北京大学

北京石墨烯研究院有限公司

(72)发明人孙靖宇贾丽刘忠范魏文泽

张钦迟蔡阿利

(74)专利代理机构北京律智知识产权代理有限

公司11438

专利代理师李青

(51)Int.Cl.

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