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- 2026-11-11 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119351965A
(43)申请公布日2025.01.24
(21)申请号202411455486.8
(22)申请日2024.10.17
(71)申请人中国科学院微电子研究所
地址100029北京市朝阳区北土城西路3号
(72)发明人罗庆李冠霖王渊
(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任
公司11021
专利代理师鄢功军
(51)Int.Cl.
C23C14/35(2006.01)
C23C14/16(2006.01)
C23C14/18(2006.01)
C23C14/58(2006.01)
C23C14/34(2006.01)
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