CVD TiCN-Al2O3 涂层车刀车削铸钢工件切削特性.docx

研究报告

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CVDTiCN-Al2O3涂层车刀车削铸钢工件切削特性

一、1.CVDTiCN-Al2O3涂层车刀概述

1.1CVDTiCN-Al2O3涂层的制备方法

CVDTiCN-Al2O3涂层的制备方法主要包括化学气相沉积法（CVD）、物理气相沉积法（PVD）和等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）等。其中，化学气相沉积法因其工艺简单、涂层质量好而被广泛应用。在化学气相沉积法中，首先需要将TiCN和Al2O3的粉末原料进行混合，然后通过高温加热使其蒸发成为气态。接下来，将混合后的气态原料通入反应室，在反应室内，气态原料在高温作用下发生化学