原创力文档开尔文探针力显微镜系统构成分析概述
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TOC\o1-3\h\u8152开尔文探针力显微镜系统构成分析 1
18071.1真空装置 1
284381.1.1真空泵组 1
256461.1.2真空舱室 2
109591.2蒸发源 3
73891.3锁相放大器 4
35371.4系统反馈控制 5
本章主要介绍了KPFM系统的构成，主要介绍关键设备与核心器件。包括真空装置、蒸发源、锁相放大器与反馈控制系统。本研究使用的实验装置允许我们制备和表征干净的样品，同时测量形貌和CPD图像等信息。
1.1真空装置
KPFM实验必须保证样品与探
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