光学零件的超精密加工技术.pdf

光学零件的超精密加工技术” UltraPrecision for MachiningTechnologyopticalComponents 北京邮电大学自动化学院 杨福兴 亿6 A Ⅵ 。 [摘要]叙述了激光核聚变、大型非球面和共形 1激光核聚变光学零件超精密加工技术 光学零件的超精密加I技术；将超精密切科、磨削、计 我国正在研制的激光核聚变装置需要大量的高精 算机数控抛光和连续抛光技术结合起来，成功地应用 度、大口径光学元件，要按期、保质、保量地制造这些光 于激光核聚变光学零件的超精密、批量制造；分析了研 刺大型非球面光学零件超精密加工装置应该解决的关 学元件，必须突破现有的工艺水平，采用高效的先进光 键问题，并提出了解决方法。 学制造技术。借鉴美国国家点火装置(NationalIgni— 关键词：光学零件非球面共形光学超精密 tion 加工 精密加工技术应用到激光核聚变光学元件的精密制造 中…． Theultra [ABsTRAcT] precisionmachinirlg for in nuclearfu— 1．1大口径平面光学元件超精密加工 laser technologyopticalcomponents and isde— 激光核聚变装置中的光学元件大多数是矩形、方 conformal sion。largeasphericaloptics optics sc—bed．The whichcombineswiththeult珀 形或多边形的，同圆形元件相比，这些元件的加工具有 technologv andcontinu—明显的边缘效应(特别是角上)。就目前的技术水平而 precisioncutting，grinding，CNCp01ishing to ous usedinultra 言，要达到工程所要求的透射波前(P—v值(Peak polishir培issuccessfully precision， of thelaser batchfabricationthe of opticalconlponents nucl曲rfusi。nThe in theultra ^／4)是比较困难的，必须采用先进制造技术。 keyproblemsdeveloping devlcefor precisionmachining largeasphericaIoptical In—Process are andthes01utionsare analyzed proposed． co