高性能石英玻璃精密退火工艺研究.pdfVIP

高性能石英玻璃精密退火工艺研究 孔敏。，隋梅，王慧，王佳佳 (中国建筑材料科学研究总院北京100024) 摘要：本工作以III类石英玻璃(siCl．化学气相沉积法合成石英玻璃)为研究对象，将现代退火理论应用到 石英玻璃精密退火过程中，建立了石英玻璃精密退火各过程数学模型，确定了各工艺参数并制定了精密退火 工艺路线，有效消除了石英玻璃内应力、提高了光学均匀性，退火效率大幅提高，获得了满足要求的高性能 石英玻璃． 关键词：高性能石英玻璃；精密退火；热应力；光学均匀性 中图分类号：TQl71 文献标识码：A 文章编号； onPrecision of PerformanceSilicaGlass Study AnnealingHigh 肋ⅣGMin，SUIMei，黝ⅣG协t黝ⅣG Jia-jia M