2000超精密加工技术的发展及对策2.pdfVIP

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2017-09-23 发布于河南
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: 1004- 132(2000)08- 0841- 04 李圣怡　戴一帆 :介绍超精密加工技术及其应用背景、发展动向, 以及超精密加工关键技术的一最新成果。从超精密加工技术推广应用的角度阐述其模块化、廉价化发展趋势, 同时就如何发展诸如模块化部件、执行系统、测量控制和环境控制等超精密加工关键技术提出一新的观点和方法。 : ; ; ; :T H161:A 0. 05 m, R a 1　超精密加工技术的特点及其应用 0. 001 m, , , 99.99% , , , , , , , ; , ; ( LIGA ) (4) 微机电系统器件加工　(ME- , , MS) , , LIGA ( 1) 超精密偶件加工　, 2　超精密加工技术的发展及分析 , ; , , 1 , , R a nm , , 20 : ; , ; ; (2) 超精密异形零件加工　, () / , 2. 1 2. 1. 1[ 1] , 40 , : (3) 超精密光学零件加工　, ( 1) 大学和研究所保持着对超精密机床研究的持续情, 对高技术进行超前研究, 对超精密机 : 841 11 8 2000 8 床产业化和商品化起着推动的作用　,20 D B 80 , nion Carbide Moore A MAE , Anorad 0. 1 m800 mm , [ 1] POMA point one micrometer accuracy( ) , ,