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ESD Index 29 ◇ 對ESD之要求 ◆設備要求 1.設備機殼：AC-INPUTU一律使用三插頭有接地端子電源線， 設備外殼一律接地。(AI 、 RI、SMD 、加工成型機、測試儀 器、錫爐等) 2.外加工治具：一律使用金屬製作，並接地處理。(含散熱片 鎖附治具) 3.維修站：工作台表面，需鋪上靜電墊，其表面阻值為105~ 109Ω/SQUARE ，人員、儀器皆需確實接地 4.鉻鐵：外殼需接地處理 5.零件盒：半導體之零件被裝置或取出時，作業人員需配帶靜 電環，零件放於導電容器或導電之零件盒中。半導體零件嚴 禁放置於塑膠容器(非靜電盒)或保麗龍容器中 ESD 訓練教材 30 ◆搬運要求 1.靜電盒：石墨型(黑色，永久型)規格為105~109Ω/SQUARE， 可使用期限一年以上 2.金屬盒：手插件段(HI)放置小零件之料盒，一般為不銹鋼導 體，必須接地使用 3.籃子：防靜電盒如使用一般塑膠籃，則需加上防靜電之隔離 使用 4.輸送帶：生產線若以輸送帶方式作業時，輸送帶及其各裝置 需確實接地 5.台車：A/I室及生產線的搬運台車，一般必須使用導體材質， 並在台車底部加接地鍊條，鍊條必須與地面接觸 ◆儲存要求 1.濕度：儲存空間之相對濕度需控制於50%~60%的範圍之內 2.保存架：必須使用導體材質，及具備接地設施 3.取放材料：儲存人員取放材料時必須配帶靜電環並接地 ESD 訓練教材 * * 0 ◇What is ESD (什麼是靜電) ………………………….…………………………...….1 ◇How to form ESD (靜電如何形成)…………………...……..……………….……...2 ◇Resistance of semiconductor by ESD (半導體產品抗靜電能)………..…...…...8 ◇Influence on quality by ESD (ESD的影響品質方式)……….. ..………...…….12 ◇Reasons for destructive material by ESD(元件被ESD破壞之原因及型態)……..14 ◇ESD destructive analysis (ESD 破壞分析)…..…………….…...…………..….18 ◇ESD protection 靜電防護…………...……………………….…...……………....20 ◇Various kind of common ESD protection material (各類常用靜電防護)….…..24 ◇Various kind of ESD warning sign (各種靜電標示警告)…………………..…….28 ◇Request for ESD對ESD之要求…………………...………………….…......……..29 ESD Index 0 ◇ 什麼是靜電放電 (ESD) ◆ 嚴寒的冬天，當您脫下暖和的毛衣，您會聽到嗶嗶啪啪聲 ◆ 乾燥的冷天，當伸手去開車門或窗戶，會感到觸電的感覺 ◆ 用手去撫摸家裡的貓，您會發現貓竟然怒髮衝冠 這些就是靜電瞬間洩放(ESD)所主導產生的現象 ESD-Electro Static Discharge ◆ 其實靜電並不僅由人為才會產生，例如 – 空中對流的雲層 – 沙漠中隨風飄起的砂 ESD 訓練教材 1 ◇ 靜電如何形成 　 ◆ 靜電是史載最早發現的一種〝電〞 　 – 靜電其實是自從有人類以來，就影響著人類的生活 – 西元前 640年， 希臘哲學家 THACES 把琥珀(Amber) 摩擦後發現可以吸附毛髮，而開始知道靜電的存在 ◆ 靜電的形成 ? 導 體 – 具有可移動的電子或價電子 (Valence Electrons) 在原子 結構的最外層，亦即受原子核 (Nuclei) 的束縛最小，當受到外 來電場的吸引而移動 (產生電流) ，此類物質稱為導體 ? 絕緣體 – 缺乏上述可移動的電子或價電子的物質，稱為絕緣体 2 ESD 訓練教材 e - ◎以物体抗靜導電性來區分材質 – 導電性 (Conductive)材質: 表面店電阻係數在 105Ω/square 以下