非晶微晶硅光伏材料及其太阳电池的研究进展.pdfVIP

·8 · 材料导报网刊 2012 年 6 月第 7 卷第 2 期 非晶微晶硅光伏材料及其太阳电池的研究进展 程 石，王晓晶，孙延三 （武汉纺织大学电子与电气工程学院，武汉 4302002 ） 摘要 介绍了氢化非晶硅(a-Si:H)材料、氢化微晶硅(µc-Si:H)材料、非晶硅太阳电池、微晶硅太阳电池及非晶/微晶硅 叠层太阳电池的研究进展。非晶/微晶硅叠层太阳电池是最具有发展前景的高效低成本硅太阳电池，着重介绍了非晶/微晶硅 叠层太阳电池研究中的主要问题和发展趋势，并提出一些建议。高速器件质量级微晶硅薄膜材料的沉积技术是非晶/微晶硅 叠层太阳电池研究的重点和产业化的关键问题。 关键词 氢化非晶硅 氢化微晶硅 叠层太阳电池 中图分类号: TK51 文献标识码: A Study Progress of a-Si and µc-Si Photovoltaic Materials and Solar Cells CHENG Shi, WANG Xiaojing, SUN Yansan （Department of Electronic and Electrical Engineering ,Wuhan Textile University ,Wuhan 430200 ） Abstract The study progress of a-Si:H material ，µc-Si:H material ，a-Si solar cells，µc-Si solar cell and a-Si/µc-Si tandem solar cells are presented. A-Si/µc-Si tandem solar cells are the most potential technology in silicon solar cells, on the major problems and development trend and puts forward some views on research of tandem solar cells are emphasized. High rate and high quality deposition technology is one focus of research and key problem for a-Si/µc-Si tandem solar cells. Key words a-Si:H, µc-Si:H, tandem solar cells 氢化非晶尤其是微晶硅薄膜材料具有低成本、易于大面 得掺杂对费米能级的位置的调节作用很小，这种 a-Si 材料 积生产、良好的光电性能等优点，在光伏应用领域受到越来 无有用的电子特性，不能作为光伏材料。 越多的关注[1＿5] 。国际上进行非晶硅微晶硅光伏材料及其太 1965 年，斯特林等第一次采用辉光放电 （GD）或等离 阳电池的研究机构主要有 ：瑞士 IMT （Institute of 子体增强化学气相沉积 （PECVD ）制备了氢化非晶硅 （a-Si ︰ [6] [3] Microtechnology of Neuchâtel ） ，荷兰 Utrecht 大学 ，美 H ）薄膜。氢补偿了非晶硅体内大部分的悬挂键，可以使隙 [7] [8] 16 3 国 United