扫描电镜在材料表征中的研究应用本科论文.doc

PAGE 毕 业 论 文（ 2012 届）题 目扫描电镜在材料测试表征中的应用研究扫描电镜在材料表征中的应用研究摘要:电子显微技术是材料表征的重要技术手段之一，其中扫描电子显微镜（简称SEM）由于具有应用范围广、样品制备简单、图像景深大等优点，因而在材料表征中发挥着越来越重要的作用。本文在介绍扫描电子电镜的发展历史、电子光学原理、扫描电镜样品的物理信号、扫描电镜的结构及工作原理的基础上，通过在不同操作条件下对不同类型样品的观察，系统研究了仪器条件如扫描电镜电子枪类型、操作条件如灯丝电压和工作距离、样品制备方法如生物样品和非导电样品的预处理方法等因素对SEM图像质量的影响。研究表明，要获得高质量的SEM形貌像，必须做以下几点：（1）选择合适的仪器是前提。对于观察纳米尺度的样品必须选择场发射电镜，因为只有场发射电镜才具有纳米分辨率。（2）采取有针对性的制样方法是关键。对于生物样品，必须进行冷冻干燥，对于导电性差的样品则必须镀导电膜。（3）选择适当的观察条件是核心。应根据样品类型和特点调整灯丝电压、工作距离、对比度和亮度等参数。（4）细心操作是保证。只有仪器操作者耐心细致的操作才能最终获得清晰简洁、信息丰富和富有美感的图像。关键词：扫描电镜；材料表征；图像Applying Research of Material Characterization with Scanning Elec