一种新型三维多方向敏感的非硅微机械惯性开关.docVIP

振　动　与　冲　击 第 ３２卷第 ５期 ＪＵＲＮＡＬＯＦＶＩＲＡＴＩＮＡＮＤＳＨＯＣＫ Ｖｏｌ３２ Ｎｏ．５２０１３　  一种新型三维多方向敏感的非硅微机械惯性开关 朱　斌，杨卓青，陈文国， 丁桂甫，赵小林 （上海交通大学 微米 ／ 米加工技术重点实验室，上海　２００２４０） 　　摘　要：基于非硅表面微加工技术，设计并制造一种新型三维多方向敏感的微惯性开关。选用弹簧 －质量块 －阻 尼的典型碰撞结构，主要由可动电极悬臂梁弹簧—质量块系统、水平固定电极、垂直复合柔性固定电极三部分组成。利用 ＡＮＳＹＳ有限元软件对器件进行模态和动力学碰撞仿真分析，并对该微机械惯性开关进行落锤冲击试验，结果表明，在水 平和竖直方向的阈值均为 ５０ ６０ｇ，接触时间可稳定在 ４０μｓ以上。 关键词：惯性开关；微机电系统；多向敏感 中图分类号：ＴＨ７０３　　　文献标识码：Ａ ＮｏｖｅｌｍｕｌｉｉｅｃｔｏｎａｌｓｎｓｔｖｅＭＥＭＳｉｅｒｔａｌｓ ｉｃｈｍａｎｕｆｃｔｒｅｄ ｂａｓｄｏｎｎｏｎｉｉｏｎｓｒｆｃｅｍｉｒｏｍａｃｈｉｉｇｔｃｈｎｏｌｇｙ ＺＨＵＢｉ，ＹＡＮＧＺｈｕｏｉｇ，ＣＨＥＮＷｅｕｏ ＤＩＧＧｕｉｆ，ＺＨＡＯＸｉｏｉ （ＮａｔｏｎａｌＫｅｙＬａｂｏｒｔｒ ｏｆＳｃｉｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｇｙｏｎＭｉｒ／ａｎｏＦａｂｒｃａｔｏｎ，ＳｈａｎｇｈａｉＪａｏｔｎｇＵｎｉｅｒｉｙ Ｓｈａｎｇｈａｉ２００２４０，Ｃｈｉａ 　　Ａｂｓｒａｃｔ　Ｂａｓｄｏｎｎｏｎｉｉｏｎｓｒａｃｅｍｉｒｍａｃｈｉｉｇｔｃｈｎｏｌｇｙ ａｎｏｖｅｌｔｒｅｉｅｎｓｏｎｍｉｒ ｉｅｒｉｌｓｉｃｈ ｗｉｈｍｕｌｉｉｅｃｔｏｎａｌｓｎｓｔｖｅｐｒｐｅｒｙｈａｓｂｅｅｎｄｅｓｇｎｅｄａｎｄｆｂｒｃａｔｄ．Ｕｓｎｇｔｐｉａｌｍａｓｐｒｎｇａｍｐｅｒｍｏｄｅｌ ｔｅ ｓｉｃｈｍａｉｌ ｃｏｎｓｓｓｏｆｍｏｂｉｅｅｌｃｔｏｄｅ（ｍａｓ） ｗｉｈ ｂｅａｍ ｓｒｎｇ ｆｅｘｉｌ ｆｘｅｄ ｐｌｎａｒｅｌｃｔｏｄｅａｎｄ ｖｅｒｉａｌ ｅｌｃｔｏｄｅｓ．Ｂｙｆｎｉｅｅｌｍｅｎｔｓｍｕｌｔｏｎ，ｍｏｄａｌａｎａｌｓｓｏｆｔｅｄｅｖｉｅｗａｓｍａｄｅｔｄｅｔｒｉｅｔｅｎａｔｒｌｆｅｑｕｅｎｃｙｏｆｔｅ ｄｅｖｉｅ ａｎｄｄｙｎａｍｉｃｏｌｉｉｎｓｍｕｌｔｏｎｏｆｔｅｄｅｖｉｅｗａｓｍａｄｅｔｖｅｒｆｔｅｗｏｒｉｇｐｒｎｃｉｌ．Ｍｉｒｗｉｃｈｅｓｆｂｒｃａｔｄ ｗｅｒ ｔｓｅｄｂｙｕｓｎｇｄｒｐｗｅｉｈｔｍｅｔｏｄ．Ｔｈｅｒｓｌｓｓｏｗｔａｔｔｅｔｒｓｏｌ ａｃｃｅｌｒｔｏｎｄｉｔｉｕｔｓｂｅｔｅｅｎ５０ｇａｎｄ ６０ｇ ｗｈｉｈｂａｓｃａｌｙｆｌｉｌｔｅｒｑｕｉｅｍｅｎｔｏｆｂｅｉｇｃｌｓ ｔ ｔｅｅｘｐｅｃｔｄｖａｌｅｏｆ６０ｇ ａｎｄｔｅｒｓｏｎｓ ｔｍｅｔ １ｍｓ ｈａｌｉｅｓｏｃｋｉａｂｏｖｅ４０ｓ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ ｉｅｒｉｌｓｉｃｈ；ＭＥＭＳ；ｍｕｌｉｉｅｃｔｏｎａｌｓｎｓｂｉｉｙ  　　微电子工业中冲击是较严重的 失 效 机 制，监 视 系 统加速度可对冲击进行有效的信息 反 馈，便 于 及 时 控 制防护。标 准 加 速 度 计 在 无 冲 击 情 况 下 存 在 寄 生 功 耗，因而在小尺寸与长寿 命 需 求 系 统 中 受 到 限 制。基 于微机电系统（ＭＥＭＳ）技术制作的惯性开关具有体积 小、重量轻、可靠 性 高、成 本 低、可 反 复 使 用、避 免 电 磁 误触发等优点，广泛应用 于 汽 车 安 全 气 囊、特 种 运 输、  撞开关存在硅器件固有不耐冲击和导通时间短暂 （～ １０μｓ）等缺点。非硅表面微加工技术可制造较高深宽 比，较复杂的准三维结构，且电镀金属密度、机械性能、 导电性能与硅相比具有一定优势。本文以非硅表面微 加工技术为基础，利用多次叠层电镀镍、牺牲层技术及 低温电泳等，开发出仅用一个敏感单 元 即 可 同 时 具 有 多向 敏 感 特 性 及 较 长 接 触 时 间 的 三 维 微 机 械 惯 性 可靠性 跌 落 试 验 及 碰 撞 记 录 中 ［１－３］ 开关。 中，为满足某些特种监测要求，需使用三个或多个单向 触发（敏感）的惯性开关组合，不但整体系统体积变大、 质心难以 重 合，且 测 量 精 度 低、可 靠 性 差 ［４］。 杨 拥 军 等 ［５］采用 ＭＥＭＳ体硅微加工工艺制造出的无源万向碰 基金项目：十二 五 预 先 研 究 项 目 （５１３０８０５０３０４）；教 育 部 重 点 支 撑 计 划 项目（６２５０１０１０５） 收稿日期：２０１１－１１－０３　修改稿收到日期：２０１２－０４－１１ 第一作者 朱　斌 男，硕士生，１９８７年生 通讯作者 杨卓青 男，助理研究员，１９８２年生  １　器件设计与理论分析 １１　器