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DCS低露点校验系统的不确定度评定 寿文杰，沈伟 （浙江省计量科学研究院，杭州，310013） 摘要：精密露点仪是测量中准确度高的仪器JJG499-2004《精密露点仪》的要求，建立DCS低露点校验系统及校准数学模型，介绍了DCS低露点校验系统的组成及工作原理，确定了系统的不确定度来源，给出了该校验系统测量结果的不确定度评定实例分析。 关键词：露点温度；露点仪；不确定度；校准 0 引言 在等压的条件下使气体中水蒸气冷却至凝聚相出现，通过控制露层传感器露层的温度，使气体中的水蒸气与水（或冰）的平展表面呈热力学相平衡状态，准确测量此时露层的温度，即为该气体的露点温度。测量气体中的水蒸气露点温度的仪器叫做露点仪。 露点仪主要应用于半导体、微电子、冶金、化纤等工艺过程及军工、航天等领域，通过对有关环境露点温度监测与控制，以实现相关作业环境条件能够满足相关要求，保证生产工艺及流程、产品质量符合有关要求以及实验结果准确可靠。对露点仪定期校准，并对其测量不确定度进行评定具有重要意义。 DCS低露点校验系统组成及工作原理 DCS低露点校验系统（见图一）主要由露点发生器、高精度镜露点仪、空压机、干燥机、被测仪表、流量计、放空管组成。整套系统由不锈钢管、紫铜管连接而成。采用锥形垫密封或硅橡胶“O”型圈密封的活接头连接被测仪表。 图一 DCS低露点校验系统的基本工作原理如下：低露点湿度发生器产生的气体在等压的条件下，分成两路气体。一路气体缓慢地流过精密露点仪的测量镜面，此时精密露点仪半导体制冷器开始制冷，镜面逐渐降温，被测气体从未饱和状态变成饱和状态而降露(或过冷水)或霜， 准确测出此时的镜面温度即被测气体的露点温度。另一路气体则进入被检的露点仪，和精密露点仪同时进行测量。分别记录精密露点仪和被检露点仪的测量值，并通过这两个值进行比较对被检露点仪进行校准。 不确定度评定 2.1 数学模型的建立 根据JJG499-2004《精密露点仪》提供的计算公式，露点仪的示值误差为被检露点仪的示值平均值与高精度镜面露点仪的示值。 （1） 其中 表示被测表示值误差，表示被测表读数，表示高精度镜面露点仪读数，表示高精度镜面露点仪修正值，单位℃DP。 2.2 灵敏系数 的灵敏系数 （2） 的灵敏系数 （3） 的灵敏系数 （4） 2.3不确定度来源 不确定度来源可以分为A类和B类，分析如下： （1）被检露点仪与标准露点仪示值误差重复性引入的标准不确定度 (A类评定)； （2）被检露点仪分辨力引入的标准不确定度分量 (B类评定)； （3）精密露点仪分辨力引入的标准不确定度 (B类评定)； （4）精密露点仪镜面露层或霜层的温度梯度 (B类评定)； （5）大气压力的波动使精密露点仪引入的标准不确定度 (B类评定)； （6）气体管路的材(B类评定)； 精密露点仪上级校准结果引入的标准不确定度 (B类评定)； 2.4不确定度分量的评定 （1）以-20℃DP为例，重复性条件下进行10次测量，所得测量列见表一：单位℃DP 次数 1 2 3 4 5 +0.02 -0.24 -0.31 -0.18 +0.04 次数 6 7 8 9 10 -0.15 -0.22 -0.02 +0.01 -0.40 表一 利用贝塞尔公式得到℃DP。 （2）被检露点仪分辨力为0.1℃DP, 按均匀分布处理，则℃DP。 （3）高精度镜面露点仪分辨力为0.01℃DP, 按均匀分布处理，则℃DP。 （4）高精度镜面露点仪镜面露层或霜层的厚度为5um～10um,温度梯度为0.03℃，分布℃DP。 （5）以测量值为-0℃DP为例，在测量过程中大气压力的波动值为a，那么所引起的露点的波动值为0.028℃，分布℃DP。 气体管路℃DP,按均匀分布℃DP。使用精密双压法标准湿度发生器检定露点仪, 湿度发生器的扩展不确定度为露点值0.08℃,包含因子k=2,所以由入的标准不确定度为: ℃。℃DP （2）标准露点仪的标准不确定度 ℃DP （3）合成标准不确定度 ℃DP 2.6扩展不确定度 按置信概率p=0.95，取包含因子k=2，则扩展不确定度为℃DP 3 结束语 ? 除了上述影响露点仪测量结果的不确定度分量以外，还有因素可能会影响测量的准确度。如气体的流速，测量低露点时循环制冷剂的温