KrF准分子激光诱导光纤光栅生长特性的研究.pdfVIP

第 18 卷第 6 期 铁　　道　　学　　报 V o 1. 18　N o. 6 1 9 9 6 年 12 月 JOU RN AL O F TH E CH IN A RA ILW A Y SO C IE T Y D ecem b er 1996 K rF 准分子激光诱导光纤光栅 生长特性的研究 陈根祥　简水生　葛　璜 杨　玲　李　洵　安贵仁 　王　圩 ( ) ( ) 北方交通大学　北京 　 中科院半导体所国家光电子工艺中心　北京 提　要　光纤光栅是未来高速、超高速光纤通信系统中不可缺少的关键器件。本文报道了 以248 的 准分子激光为光源, 用相位掩模技术在 双掺光纤上研制出反射率 nm K rF B Ge 98. 8% , 反射谱 3 dB 带宽0. 4 nm , 反射谱边瓣抑制达 20 dB 以下, 具有优良滤波特性光纤 光栅的实验研究结果。在此基础上, 对 248 nm K rF 准分子激光照射下光纤光栅的生长特 性进行了研究并对光纤紫外光敏性的微观机理进行了分析。 关键词　光纤光栅　光纤光敏性　相位掩模 1　引言 光纤的光敏效应于 1978 年由加拿大通信研究中心的 . [ 1 ] 及其合作者发现。1989 年 K H ill . [2 ] 等人用全息干涉方法在光纤上制作出第一支 波长位于通信波段的光纤光 G M eltz B ragg 栅, 从此, 用紫外光从光纤侧面直接在光纤芯区形成轴向B ragg 光栅的技术一直受到人们的广 泛关注。近年来, 随着世界范围建设“信息高速公路”热潮的兴起, 人们逐渐认识到从光纤通信, 光纤传感到光计算和光学信息处理的整个光纤领域都将由于光纤光栅的实用化而发生革命性 的变化。尤其是在光纤通信方面光纤光栅将影响到从光发送、光放大、光纤色散补偿到光接收 的几乎每个方面, 是下一代超高速光纤通信系统中不可缺少的重要组成部分。对光纤光珊的研 究目前已受到国际光纤领域的普遍重视。由于光纤光栅在制作高性能光纤器件和未来超高速 光纤通信系统中的重要应用价值以及在其他领域中的广泛应用前景, 光纤光栅已成为一个全 球性的技术研究热点。在近年的国际重要刊物和会议上均有大量文章报道这方面的研究成果。 对光纤光栅的研究在我国也受到了相当的重视, 北京大学、清华大学、吉林大学、上海光机 所、华南师范大学等研究单位都对光纤光栅进行了深入的研究, 其中吉林大学在高掺Ge 及经 过高压低温H 2 敏化处理的光纤上先后研制出了反射率 4. 9% 和 48% 的光纤光栅[ 56 ] , 清华大 [7 ] 学在高掺 Ge 的石英光纤上研制出了反射率 10% 的光纤光栅 , 华南师范大学采用经过H 2 敏 [ 8 ] 化处理的 光纤研制出了反射率达 95% 的光纤光栅 , 上海光机所对氢载光纤的紫外光 B Ge [9 ] 敏性进行了一些实验研究 。本文报道了在 1 H z 的248 nm K rF 准分子激光脉冲重复频率下