SiC薄膜材料在MEMS中应用的研究进展.pdfVIP

维普资讯 第26卷第6期 压 电 与 声 光 Vo1．26No．6 2004年12月 PIEZOELECTRICS＆ACOUSTOOPTICS Dec．2004 文章编号 ：1004—2474(2004)06—0482—03 SiC薄膜材料在MEMS中应用的研究进展 崔 梦 ，胡 明 ，严如岳 (1．天津大学 电子信息工程学院，天津 300072；2．中国电子科技集团公司 天津 电子材料研究所 ，天津 300070) 摘 要：SiC材料具有极为优 良的物理化学性能，以SiC材料替代传统 si材料制成的SiC微电子机械系统 (MEMS)，克服了SiMEMS本身性能的局限性，可满足在高温、高腐蚀等极端条件下的应用。文章综述了近几年 SiC薄膜在MEMS中应用的研究进展，详细讨论了薄膜的性能、主要制备方法及微机械加工技术在 SiCMEMS的 应用。最后，分别举例说明SiC薄膜材料在MEMS中作为保护层和结构层应用的研究现状。 关键词：SiC；微 电子机械系统(MEMS)；保护层；微结构层；应用 中国分类号 ：TN402 文献标识码 ：A ProgressofSiC Film UsedinM EM S CUIM eng ，HU M ing ，YAN Ru—yue。 (1．SchoolofElectronicInformationEngineering，TianjinUniversity，Tianjin300072，China 2．TianjinElectronicMaterialResearch，InstituteofCETC，Tianjin300070，China) Abstract：SiC isnotedforitsexcellentphysicalandchemicalproperties，SiCM EM SwhichusesSiC asthecan— didateforconventionalSi．overcometheshortcomingofSiMEMSandcanbeusedinhightemperatureorerosive environment．Inthispaper，recentprogressofSiC film usedinM EM Sisreviewed，thecharacteristicsofSiC film ， dominatingdepositionmethodsandmicromechanicaltechnologyarediscussingindetail．Finally，currentstatusof researchonSiC asstructurelayandprotectivecoatingareintroducedandexamplesaregivenrespectively Keywords：SiC；M EM S；protectivecoating；structurelay；application SiC材料 由于其沉积过程可在低温下进行 ，已逐渐 1 引言 受到研究者的关注。目前，SiC晶片制备技术尚不成 21世纪以来 ，以Si为基本材料的微 电子机械 熟 ，且SiC材料的化学性能优 良，无法用传统的湿法 系统 (MEMS)已有长足发展 ，随着 MEMS应用领 腐蚀对其进行微机械加工 ，所以SiC薄膜材料在 域的不断扩展 ，Si材料本身的性能局限性制约了Si MEMS中的应用研究具有重要意义。本文将介绍 基MEMS在高温、高频、强辐射及化学腐蚀等极端 S