氧化锌薄膜的拉曼光谱研究.pdfVIP

文章编号 (2002) 氧化锌薄膜的拉曼光谱研究 1 ,2 2 1 2 黄焱球 , 刘梅冬 ,李 　珍 , 曾亦可 ( 1. 中国地质大学 材料科学与化学工程学院 ,湖北 武汉 430074 ;2. 华中科技大学 电子科学与技术系 ,湖北 武汉 430074) 摘 　要 : 　利用拉曼光谱结合 X 射线衍射分析对未掺杂和掺杂 的 Zn (CH COO) ·2H O 溶于溶剂乙二醇甲醚中制成。制胶时 , 3 2 2 的 ZnO 薄膜、陶瓷薄膜进行了研究。ZnO 薄膜及 ZnO 陶瓷薄膜 为加快 Zn (CH COO) ·2H O 的溶解速度以及提高溶胶的稳定 3 2 2 均由 solgel 法制备 , 掺杂组份有 Bi O 、Sb O 、MnO 和 Cr O 性 ,加入适量的催化剂冰醋酸和稳定剂乙醇胺 ,并于 60 ℃条件 2 3 2 3 2 3 等。结果表明 ,未掺杂的薄膜的 ZnO 主晶相均表现出显著的定 下保温搅拌数小时 ,直至形成稳定的溶胶。 向生长特征 ,其拉曼光谱特征谱峰为 437cm - 1 ,谱峰强度随薄膜 掺杂溶胶的制备与纯 Zn 有机溶胶的制备方法基本一样。 退火温度的提高略有增强。掺杂后 ZnO 的拉曼谱峰发生了红 掺杂试剂选用 Bi (NO ) ·2H O 、Sb O 、Cr (NO ) ·9H O 和 Mn 3 3 2 2 3 3 3 2 移。掺 Bi O 后 ZnO 的 拉 曼 谱 峰 由 347cm - 1 移 质 移 至 (CH COO) ·2H O 等。可溶性掺杂试剂与 Zn (CH COO) ·2H O 一 2 3 3 2 2 3 2 2 434cm - 1 ,掺 Sb O 后 ZnO 的拉曼谱峰移至 435cm - 1 , 而掺杂 起直接溶解成胶。Sb O 则先由酸溶解 ,再加入到含 Zn 有机溶 2 3 2 3 Bi O 、Sb O 、MnO 和 Cr O 等组份的 ZnO 陶瓷薄膜的 ZnO 拉 胶中 ,再搅拌均匀 ,直至形成稳定溶胶。 2 3 2 3 2 3 曼谱峰则移至 434cm - 1 ,说明掺杂元素进入了 ZnO 晶格 , 引起 薄膜的制备是以甩胶法进行。基片为单晶硅片。涂胶时 , 了晶格的变化。ZnO 薄膜性能不仅受次晶相组成的影响 ,而且 每涂上一层后即在 400 ℃下预烧