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2002 年 第 21 卷 第 8 期 传感器技术 Journal of Transducer Technology 11
多孔 Al O 薄膜感湿材料的湿敏特性研究
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任 豪 , 章佩娴
(1 . 广州市光机电工程研究开发中心 ,广东 广州 510630 ;
2 . 中山大学 物理系 ,广东 广州 510275)
摘 要 : 通过对阳极氧化多孔 Al O 薄膜感湿材料的制备工艺及其电容湿敏特性进行研究 ,将阳极氧化
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参数对多孔 Al O 薄膜的结构和形态的影响与多孔 Al O 薄膜作为湿度传感器感湿材料的湿敏特性联系
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起来进行分析 ,为优化制备工艺参数提供更充分的实验数据 ,使新型多孔 Al O 薄膜湿度传感器具有更好
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的感湿特性。
关键词 : 多孔 Al O 薄膜 ; 湿度传感器 ; 阳极氧化
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中图分类号: TP212 文献标识码 : A 文章编号 : 1000 - 9787 2002 08 - 0011 - 03
Research on the humidity sensitive characters of porous Al O thin
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f ilm humidity response material
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REN Hao , ZHAN G Peixian
( 1. Guangzhou Research and Development Center of OpticsMechanicsElectricity Engineering , Guangzhou 510630 ,China ;
2. Dept of Phys , Zhongshan
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