应用于纳米级聚焦离子束系统的静电透镜设计.pdfVIP

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2017-09-17 发布于重庆
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应用于纳米级聚焦离子束系统的静电透镜设计.pdf

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第卷第期光学精密工程１５６　Ｖｏｌ．１５Ｎｏ．６　　　　　　　　　　ＯｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ　　　　　　　　年月　ｐｇｇ２００７６Ｊｕｎ．２００７　　　　文章编号（）１００４９２４Ｘ２００７０６０８２９０６　应用于纳米级聚焦离子束系统的静电透镜设计１２李文萍，顾文琪（北京航天航空大学，北京；中国科学院电工研究所，北京）１．１０００８３２．１０００８０摘要：在不同束流和能量下对离子光柱体进行了优化设计。给出了用阻尼最小二乘法设计的单个透镜和透镜系统，并研究了像平面处的离子束性能。采用先分解再组合的方法确定单个透镜参数，并以大束流、无限大放大倍数下像差系数与焦距的比为优化目标。选取工作模式时综合考虑了系统的光学性能和可实现性，大束流下采用平行模式，小束流下采用交叉模式，设计的透镜系统在大、小束流下分别选轴上像差和放大倍数为优化目标。计算表明，束流下像差为２ｎＡ，放大倍数为，束斑直径为；束流下像差为，放大倍数为，束１６．３３ｎｍ－０．５３９０９５５３１．５２ｎｍ２．５Ａ２．１５ｎｍ０．０８４３５９９ｐ斑直径为４．７３ｎｍ。此离子光柱体能够获得纳米量级的离子束，并且只需调整第二透镜第二、第三电极之间的距离以及第二电极电位（对源）就能改变样品处的束能，增加了光柱体的应用范围，实现了一套系统内同时具有刻蚀、沉积、注入和离子成像等功能。关键词：聚焦离子束；静电透镜；阻尼最小二乘法；工作模式；束流密度分布　　中图分类号：；文献标识码：ＴＮ１６ＴＨ７０３Ａ　　犇犲狊犻狀狅犳犲犾犲犮狋狉狅狊狋犪狋犻犮犾犲狀狊犲狊犻狀狀犪狀狅犿犲狋犲狉狊犮犪犾犲犳狅犮狌狊犻狀犻狅狀犫犲犪犿狊狊狋犲犿犵犵狔１２，ＬＩＷｅｎｉｎＧＵＷｅｎｉｐｇｑ（，，；