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振幅フィルタe…-pを用いた回折実験.pdf

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170 生 産 研 究 振幅フィルタe…-pを用いた回折実験 朝倉利光・菊池恭孝 光学系の開口での光の振幅分布を変えることで,回折像の性質が決定される.ここ では著者の提案による特別な振幅フィルターによる回折像強度分布の理論的考察を 行ない,次いでそのフィルターを実際に製作し,それを用いた実験結果を報告する. ある.第3にフィルターリングの操作を行なうと,回折 1. 緒 言  回折現象に伴う光学像の劣化を改良する方法にフィル 下するのが常である.しかし中心強度をできるだけ高く ターリングの技術がある.光学系の開口上で位相,振幅 保ち,その他の目的にかなうような開口上の振幅分布を 分布を変えることで,回折像の性質が決定されることは 与える瞳関数を求めることがフィルターリングの理想と よく知られている.適当な複素透過率を有するものを出 2.0 射瞳に入れ,結像特性を希望のものにする研究は,apo・ dization(本来の意味は高次回折像を除去することであ ,,“乙グ 嵐継 るが)という名で盛んに行なわれてきた1).実際には, 金属の薄膜や非金属をレンズ上に蒸着させるとか,特別  1.5 なフィルターを用いるとかして実現される.ここでは著 F(r) 者の一人(朝倉)2)が理論的に研究してきた不均一な振幅 分布を有するフィルターを用いた場合の回折像の変化状 態を理論的に解説し,次にこのフィルターを製作し,そ 1.0 れを用いての回折実験に焦点を合わせて報告する, !〃 2. 理 論 〃 隙  (1) 振幅フィルター 0.5  ここで提案する振幅フィルターは,apodizationの本来 の意味である高次の回折像を除去することのほかに,回 折像の中心強度をある程度高く保っことや,Rayleigh の意味の分解能の増加を計ることを目的とするものであ る.このための振幅フィルターとして 1 0.5   0    0.5 1     r     F(r)-a・・+(・一号)    (・) 第1図 振幅フィルターの形態 1という放物線の瞳関数を選ぶ(極座標を用いてある). するところである,(1)を用いると,aに無関係に中 ただしaは一2≦a≦2の範囲の常数である.この瞳関 心強度は一定である,すなわち,不均一な開口上の振幅 数を図にすると,第1図のようになる.したがってaが 正のときの(1)を正の振幅フィルターと名づけ,負の を与えてくれる.第4に開口から出る光量が一定に保た ときを負の振幅フィルターと呼ぶ.この振幅フィルター一 れている.一般に振幅フィルターを使うと,場合に応じ を選び研究することに,次のようないくつかの基本とな て光量が変化するが,この場合はaの値のいかんにかか る重要な

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