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给水质量对超纯水制备的影响
Daniel Darbouret(1), Naoe Ishii(2), Masanori Kanazawa(2), 和Ichiro Kano(1)
(1) ResearchDevelopment, Laboratory Water Division, Millipore S.A., aint-Quentin-en-Yvelines,
France.
(2) ResearchDevelopment, Laboratory Water Division, Nihon Millipore Ltd., Tokyo, Japan.
摘要:超纯水的制备通常只以电阻率来进行水质监控。这种制备方法需要若干步骤。以本地
用水为纯化水源时,必须在最终精制之前对其进行预处理。
纯化的初始步骤包括DI (去离子技术)或者RO (反渗透)/EDI (连续电流去离子技术)
联用。尽管通过这两种技术都能获得电阻率较高的超纯水,但是当更能精确地监控超纯水质
量的 TOC (有机碳总量)也被列入考查指标的时候,不同制备技术得到的超纯水之间水质
的差异就明显了。由于TOC 偏高,选用去去离子技术(DI )进行预处理需要更加严谨的维
护和操作。
而且,树脂再生之后使用,容易导致有机物脱落进入离子交换精制介质甚至后面的过滤
器,进而影响、削弱整个系统的效率、可靠性和使用寿命。
前言
制备超纯水是通过一系列纯化技术的 的方法,但是水质不稳定,当去离子树脂饱
结合实现的。纯化过程中的每一步骤都力求 和时会发生波动。该技术主要用于去除离
最优化,以便(有针对性的)去除不同类型 子,而对其他污染物,例如有机物及微小颗
的杂质,甚至包括非常不常见的特殊物质。 粒,则效率较低。这两种水纯化技术提供的
超纯水生产线有3 个单元:初始纯化系 水,经过进一步的精制去除残留的痕量污染
统、储存容器和最后的精制系统。初始纯化 物以后,能满足许多应用。
系统可以将井水或自来水纯化。在此环节, 但是初始纯化技术不过硬,不仅会使最
可以使用去去离子技术、蒸馏技术或者反渗 后精制步骤中出现水质量问题,而且会缩短
透技术。蒸馏可以虽然可以有效去除很多类 超纯水器的使用寿命。
型的杂质,但能耗太大且生产速度慢,需要 本研究主要显示了不同的预处理方法
在使用前长时间的贮存,这就难以保证水质 对制备超纯水质量的影响。逐个分析了纯化
了。去离子技术看似一个最简单和成本最低 组件对污染物不同的作用。
第1 部分:比较DI 给水与RO/EDI 给水对超纯水TOC 的影响
实验 纯化步骤
The RD Notebook: 给水质量对生成超纯水的影响 1
自来水给水(Mita, Tokyo ),通过两种 一个优化的容器1可以使纯水的电阻率
不同的预处理系统(如图1 所示)处理后, 由 维持在2~6 M Ω•cm,如图2 所示。此外,
Milli-Q Academic (Millipore )进行精制: 水质在整个实验过程中都保持稳定,不需要
树脂再生。
A 系统由通过去离子柱纯化的水供水 不过上述两个预处理系统的供水,经最
(5 升体积的混床去离子树脂)。当与处理系 后的精制系统(A 或者B )处理后,电阻率
统出水的电阻率低于1 M Ω•cm.时,用再生 都能达到18 M Ω•cm 。
树脂更换去离子柱填料。
B 系统由Elix 10 (Millipore )供水,结
合反渗透技术和连续电流去离子技术,同时
预处理水储存在一个 60 升体积的储备容器
中。
图1:水纯化链示意图
方法
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