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第2 5 卷第3 期 压 电 与 声 光 . 25 . 3
V o l N o
2 0 0 3 年6 月 . 2003
P IEZO EL ECTR IC S A COU STOO P T IC S J un e
文章编号:(2003)
改善( , ) 3 薄膜的铁电性能研究
Pb Ca T iO
1, 2 3
唐立军 , 唐新桂
( 1 长沙电力学院 物理与信息工程, 长沙 4 10077; 2 中国科学院上海原子核研究所, 上海 20 1800;
3 中国科学院上海硅酸盐研究所, 上海 200050)
( ) ( ) (
摘 要: 用溶胶凝胶法和快速退火工艺在 111 基片制备出高度 100 取向生长的钙钛矿相
L aN iO 3 Si Pb076
) ( ) 薄膜。用原子力显微镜分析了薄膜的表面形貌; 测试了薄膜的铁电和介电特性。 薄膜的剩余
Ca024 T iO 3 PCT PCT
极化强度和矫顽场分别为 93 2 和 64 , 在 100 薄膜的介电系数和损耗分别为 23 1 和 0 045。比较
C cm kV cm kH z
了在不同电极制备 PCT 薄膜的结果, 用L aN iO 3 作底电极, 改善了铁电性, 降低了矫顽场。
关键词: PCT 铁电薄膜; L aN iO 3 电极; 取向; 介电特性; 溶胶凝胶
中图分类号: TN 304 文献标识码: A
( , ) 3
Ferroelectr ic Pr
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