掺Al对ZnO薄膜结构和光电性能的影响.pdfVIP

第 20 卷 　第 6 期 液 　晶　与 　显 　示 Vol20 ,No6 2005 年 12 月 Chinese J ournal of Liquid Cry st al s and Di sp lays Dec . ,2005 文章编号 (2005) 掺 Al 对 ZnO 薄膜结构和光电性能的影响 徐自强 ,邓 　宏 ,谢 　娟 ,李 　燕 ( 电子科技大学 微电子与固体电子学院 , 四川 成都 　6 10054 , Email : hdeng @uest c . edu . cn) 摘 　要 : 采用溶胶凝胶工艺在普通玻璃片上制备了 ZnO ∶Al 薄膜 。通过 XRD 、U V 透射谱和 电学测试等分析方法研究了掺 Al 对薄膜的组织结构和光电性能的影响。分析表明:所制备的 ( ) 薄膜具有 c 轴择优取向,随着掺 Al 浓度的增加 , 002 峰向低角度移动 ,峰强逐渐减弱 。薄膜电 ( ) - 4 Ω 阻率随掺 Al 浓度变化 ,当掺 Al 浓度为 1. 5 % 摩尔分数 ,薄膜电阻率降至 6. 2 ×10 ·cm 。 掺 Al 量的增加同时使得薄膜的禁带宽度变大 ,光吸收边出现蓝移现象 。 关 　键 　词 : ZnO 薄膜 ;溶胶凝胶法 ;Al 掺杂 ;光学特性 ; 电学特性 中图分类号 : O4844 　　　文献标识码 : A [2met ho xyet hano ]和无水乙醇作为溶剂 , 乙醇氨 1 　引　　言 (M EA) 作为稳定剂 。前驱体 、溶剂 、催化剂以及 ZnO ∶Al ( ZA O) 薄膜不仅具有与传统 I TO 薄 稳定剂的选择关系到薄膜最终质量 。实验中将一 膜相比拟的光电性质 ,而且原材料丰富、价格低 、 定量的醋酸锌溶解在乙二醇甲醚和无水乙醇混合 无毒 、沉积温度低 、热稳定性高 , 特别是 ZnO 基 溶剂中 ,加入与醋酸锌等摩尔的乙醇氨和少量的 ( ) 甲酰氨 C H N O ,经充分搅拌后形成透明均匀的 薄膜在氢等离子体环境中具有很高的化学稳定 3 性 , 不易导致太阳能电池材料活性降低 。因此 , 溶液 A 。为制备掺 Al 的溶液 ,先根据需要将一定 ( ( ) ) 量九水硝酸铝 Al N O ·9 H O 溶于无水乙醇 ZA O 薄膜逐渐成为 I TO 薄膜的最佳替代材料 , 3 3 2 被广泛地应用于光电显示 、太阳能电池和热镜等 中制成透 明溶液 B 。再将其加入 A 中 , 调制成 领域中[ 1 ]